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自信的眼神开始被焦虑和一丝不易察觉的茫然取代。
“不能再等了!”秦浩的声音斩断了压抑的沉默,他大步走进气氛凝重的洁净室,目光扫过脸色难看的陈哲,最后落在角落里的周文兵身上,带着一种不容置疑的决断,“陈工,你们继续排查手册流程。
周师傅,你带人上!用你们的眼睛和手,给我找出问题在哪!”
“得令!”周文兵等的就是这句话,布满老茧的大手一挥,“老张、老李!抄家伙!带上咱的‘照妖镜’!”他口中的“照妖镜”,是几台老旧的国产光学显微镜和表面张力测试笔。
周文兵团队如同嗅到猎物的老猎手,迅速进入状态。他们没有围着昂贵的进口设备打转,而是将目标锁定在那些刚拆封的、光洁锃亮的国产硅片上。
周文兵粗糙的手指捻起一片硅片,对着洁净室顶部的灯光变换角度仔细观察,又凑到鼻子前极其轻微地嗅了一下。
“老张,测测这水的‘性子’,看它‘咬不咬人’!”他吩咐道。
老张立刻拿出几片不同批次的国产硅片边角料,用表面张力测试笔小心地点上几滴超纯水,观察水滴的铺展形态和接触角变化。
王晓军则带着便携式电导率仪和pH计,紧跟在旁,同步记录着每一处细微的异常数据。
时间一分一秒过去。陈哲团队还在手册和电脑数据里寻找答案,周文兵这边却已有了方向。
“秦总!陈工!有谱了!”周文兵直起腰,指着显微镜下硅片边缘一个极其细微、若非经验老道极易忽略的浅淡晕圈,“问题不在水,也不在槽子!
是这硅片!新批次的国产货,表面‘油性’不对劲!太‘滑’了!咱这进口槽子里的清洗药水,是按标准硅片配的‘猛药’。
对付这‘滑溜’的皮子,劲儿使大了反而洗不干净,药水残留和硅片表面那层‘油膜’没除尽的混在一起,一进高温氧化炉,就‘烧’成这层雾了!”
“硅片表面特性批次差异?”陈哲下意识地反驳,“手册里没有相关预警!所有硅片入厂检验都符合通用标准!”
“通用标准顶个屁用!”周文兵毫不客气地顶了回去,“你手册上写的是给谁用的?是给那些外国硅片用的!咱这国产的娃,水土不服!光看那纸面上的‘合格’有屁用!得看它‘吃不吃得下’你这套洋流程!”他转向秦浩,斩钉截铁。
“得改!得给它先‘打打底子’,加一道‘钝化’!用低浓度的氧化液,温度低点,时间短点,先给它表面那层‘滑溜皮’磨糙实了!
再走后面的标准清洗氧化流程!这叫‘预氧化钝化’!”
“预氧化钝化?”陈哲脸色铁青,“这完全是违反手册流程的!
没有任何理论依据!会引入不可控的变量!我坚决反对!”
“反对?”秦浩的声音如同淬火的钢,冰冷而坚硬。
他走到两人中间,目光如电,“陈工,手册流程试了三天,结果是什么?是百分之百的批次性不良!
周师傅的法子,有没有理论依据我不知道,但我知道他的眼睛和手,在‘混血线’上救了我们无数次!
现在,不是争论对错的时候,是解决问题的时候!”他猛地一挥手,指向那批被判了“死刑”的雾状硅片。
“就用这批问题硅片!周师傅,按你的方案,上‘预氧化钝化’!王工全程记录参数!执行!”
命令如山。在陈哲团队或质疑或愤怒的目光注视下,周文兵带着老伙计们,如同进行一场精密的手术。
他们小心翼翼地调整了清洗槽旁一台小型实验氧化炉的参数,设定了一个远低于常规的氧化温度和时间,配置了一种浓度极低的特殊氧化溶液。
硅片被重新放入。这一次,没有完全依赖自动程序,周文兵亲自守在炉子观察窗前,那双看了一辈子火候的眼睛,紧紧盯着硅片表面颜色的细微变化。
“温度稳住…再稳一点…好…药液渗透差不多了…老李,准备切换标准流程!”
周文兵低沉的声音在寂静的洁净室里格外清晰。王晓军的手指在仪器键盘上飞快跳动,记录着每一个“违规”操作的瞬间参数。
数小时后,经过“土法”预处理的硅片再次被送入显微镜下。所有目光聚焦在屏幕上——那片顽固的雾状污染区域,消失了!硅片表面呈现出均匀、洁净的理想状态!
“成了!表面状态达标!”王晓军的声音带着压抑不住的激动。
陈哲看着屏幕上清晰的图像,张了张嘴,却一个字也说不出来。脸上的自信和优越感第一次被一种复杂的、近乎茫然的表情所取代。手册没有错,流程没有错,可为什么在“完美”的执行下,却生产出了废品?而眼前这些“泥腿子”的“野路子”,却硬生生把废品救了回来?巨大的认知冲击让这位精英工程师陷入了沉默。
“立刻整理数据!”秦浩的声音打破了寂静,带着不容置疑的决断,“王工,把‘预氧化钝化’的全套参数、硅片批次特征数据、前后对比效果,形成详细报告!陈工,你们团队也必须参与分析!找出手册流程失效根本原因!我们要的不是证明谁对谁错,是要弄明白,为什么在‘标准’环境下,‘标准’流程会失效!王院士给我们的‘钥匙’,就是用来开这把锁的!示范线的工艺规范,必须兼容‘东海经验’!成立联合工艺攻关组,我任组长,陈工、周师傅、王工任副组长!马上行动!”
一场前所未有的“土洋结合”的技术攻坚战,在示范线洁净室的硝烟中,正式打响。
……
联合工艺攻关组第一次全体会议的气氛,凝重得如同暴风雨前的海面。巨大的会议桌两侧,壁垒分明。一边是以陈哲为首的海归精英团队,西装革履。